MEMS壓力傳感器及傳感系統(tǒng)全面解決方案
定義:
致力于為乘用汽車行業(yè)提供MEMS傳感器及系統(tǒng)產(chǎn)品,集產(chǎn)、學、研于一體的MEMS壓力傳感器智能制造基地,基于先進技術開發(fā),應力模型封裝技術和高效批量標定測試算法,建有數(shù)條行業(yè)領先自動化智能傳感生產(chǎn)線,具備批量化生產(chǎn)制造能力。
以打造高端智能傳感器為出發(fā)點,依托武漢大學深厚科研實力及多學科交叉優(yōu)勢,輔以智能化測量系統(tǒng)研究平臺,借助國家戰(zhàn)略發(fā)展契機,圍繞以MEMS壓力傳感器為核心,致力于技術創(chuàng)新和新品研發(fā),攻克智能制造及傳感技術“卡脖子”難點,全力加速成果轉(zhuǎn)化與企業(yè)孵化,爭當成為引領全球MEMS壓力傳感器及傳感系統(tǒng)全面解決方案供應商。
1)敏感元件設計:敏感元件結構設計、材料選型、應力隔離技術研究;
2)制造工藝研究:絲網(wǎng)印刷工藝,電阻燒結工藝,激光調(diào)阻工藝;
3)封裝技術:壓力傳感器后道封裝技術研究,包括敏感元件的信號引出,傳感器防護設計,封裝工藝力學研究;
4)批量標定技術:建立標準的高溫高壓傳感器批量化標定測試方法。